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紅外加熱燈管是快速退火爐RTP系列配件，使用鹵素循環設計，響應時間短。可以配合復雜的加熱編程，達到精準可控的紅外能量輸出，滿足半導體工業對精確溫度與加熱區域的嚴...
石英樣品托架是快速退火爐RTP系列配件，采用高純度石英砂（99.95%）精密制造，高溫環境下仍可保持穩定的化學性質。用于承載石墨托盤，也可以直接承載晶圓。適用于...
TC-wafer校準儀是一款應用于晶圓溫場均勻性實時測量校準的儀器設備,并能生成報告。
碳化硅石墨托盤是快速退火爐RTP系列配件，采用進口等靜壓石墨精密制造，可有效提高設備的溫度均勻性（以嘉儀通RTP-3-08為例，溫度均勻性可以從1.5%提升到1...
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